净化车间洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量:关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量,在gbj73-84中规则:关于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1l,关于1000~10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.3l,关于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1l。关于100级净化车间,宜选用大流量粒子计数器进行测试。
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无尘洁净室(clean room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 fed-std-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初,在70年代电子工业洁净室---是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快,相继建成一批洁净厂房,并研制成功100级单向流洁净室;与此同时,洁净厂房用设备和资料,层流手术室设计施工厂家,如过滤器,洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功,并投入出产,虽然制作和某些工程指标与水平尚有差距,但已能满足国内部分需求,到20世纪70年代末我国洁净室规 划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
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